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产品型号 ZJZ-AB- D400 转台直径 400 测量回转直径 00 (可按需定制) 转台最大承载 4500N 径向运动精度 ≤0.2μm 转角精度 角摆精度 ≤0.3" 转台平面度 5μm 转台跳动 5μm 转台驱动方式 自动、手动 台面形式 螺纹孔/T型槽 (可选) 立柱调节方式 手动 调整台 气浮调心台 静子升降方式 自动 静子升降行程 0-40mm 升降高度分辨率 2.9nm 软件 专用软件(可拓 展)。
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